Жобаның өзектілігі: қазіргі таңда интегралдық микросхемалар мен жартылай өткізгіш құрылғыларды жобалау мен өндіру барысында жұмыс беттерін қорғайтын берік, сенімді әрі ұзақ мерзімді материалдарға деген қажеттілік ерекше маңызға ие болып отыр. Металдардың бетінде тұрақты, электрлік тұрғыдан оқшаулағыш қабаттар түзу – олардың сенімділігі мен қызмет ету ұзақтығын арттырудың негізгі шарттарының бірі. Осы тұрғыдан алғанда, алюминий оксидінің жұқа қабыршақтары жоғары механикалық және диэлектрлік қасиеттерімен ерекшеленіп, заманауи микроэлектроника саласында кеңінен қолданылуға әлеуетті материал болып табылады.
Жобаның мақсаты: осы жобаның негізгі мақсаты – ВУП-5 вакуумдық қондырғысында металлорганикалық қосылыстар негізінде (алюминий изопропоксиді) алюминий оксидінің жұқа қабыршақтарын термиялық тұндыру арқылы алу процесін зерттеу және алынған қабыршақтардың құрылымдық ерекшеліктерін кешенді түрде талдау.
